微波等离子体化学气相沉积炉

型号/model

WBMW-DLZ3

可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热

大功率/KW

3  (功率可调)

高工作温度/℃

1200

长期工作温度/℃

≤1100

温度测试元件

微波场传感器

控温精度/℃

±2

石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm

φ102/φ92x1000

真空系统配置（可选）

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰；
10-1Pa真空用高品质机械泵及真空计；
10-2Pa真空用高品质机械泵、扩散泵及真空计；
10-3Pa真空用高品质机械泵、分子泵及真空计；

升温速率(标配)

50℃/min 可分 段加热    300℃/min

外型尺寸(长x宽x高)/mm

1000´750´1830

微波泄漏量/  mW/㎝

≤0.4

提供相关配件

高温手套×1、中文说明书×1

保质期

整机保修1年