均温氧化扩散炉 （I型）

型号

T1200-250T3均温炉氧化扩散

可配工艺管外径

炉管外径152mm   适用于3＂；炉管外径252mm   适用于6＂；

炉管外径300mm   适用于8＂

温度控制范围

300~1150 ℃

恒温区长度及精度

300～1250mm（依客户要求定）  300~800 ℃±1.5℃, 800~1100 ℃±1℃

可控升降温速率

升温速率：≦15℃/min  降温速率≦5℃/min

加热区个数

3区，4区，5区，6区（依客户要求定）

送料方式

手动送料

冷却系统

水冷2-4Kgf/cm2，8L/min；＋上接排风冷≈25m3/min；

轴向温场分布

径向温场分布

控制系统

1.烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

2.可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；3.实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；4.具有实现远程操控，实时观测设备状态；5.温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

加热腔体

采用加热丝：KANTHAL及HRE

绝热材料：晶体纤维等

绝缘子：高纯刚玉，间距依据温场调节

端口过渡环：氧化铝纤维真空成型。

温区：3段、4段、5段、6段

真空密封系统

真空度：≤10Pa（机械泵）

供气系统

采用质子流量计控制气体流速，与设备集成为一体；

可选配项目

1、出料口排毒气柜；

2、净化出料台；

3、自动石英浆推拉舟机构

设备使用注意事项

1、装取样片必须带石棉手套，使用石英器件小心打碎；

2、选择合适的石英舟，取出清洁好的石英托板和石英拉钩；

3、安装样片插入到石英舟的槽内，用石英拉钩将石英舟推入炉管到恒温区；

4、炉管内压力不得超过0.15MPa，以防止压力过大引起危险；

5、高真空下使用时），设备使用温度不得超过1000℃；