超声雾化CVD管式炉

电气规格

AC220V    1.2KW

Z高温度

1200 °C （<1小时）

连续温度

1100 °C （连续）

Z高加热速率

≤  20 ℃/分钟

加热区长度

200mm

高精度蠕动泵

1. 转速范围：0.1·100rpm正反转可逆；

2. 速度分辨率：0.1rpm；

3. 调速方式：薄膜按键；

4. 显示方式：4位LED显示当前转速或当前流量；

5. 加强PP材质，耐腐蚀；

6. 流速：0.04-36ml/min；

7. 设有全速键，实现快速排空、添加；

8. 具有掉电记忆功能，及时保存运行参数。

雾化器

1.AC220V ，1.7MHz超声雾化仪；

2.液体罐标配为聚四氟材质，耐腐蚀，并采用硅胶密封圈密封；

3.可通过控制气体流量计实现雾化流出速度；

4.可实现连续运行雾化。

控制系统

1.可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦；

2.实验过程直观，操作便捷；

3.可另选配无线控制模块，实现远程操控；

4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等

温度精度

+/- 1 °C

加热元件

Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

流量控制

标准配置有一个浮子流量计，流量计量程为
60-600ml/min（其它量程可与销售联系定制）

净重

30KG

设备使用注意事项

1.设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；

2.设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa，以防止压力过大冲开密封法兰；

3.高真空下使用时（10-3Pa），设备使用温度不得超过800℃。