等离子体增强旋转PECVD系统

电气规格

AC220V    1.5千瓦

设备尺寸

W1300mm×H1250mm×D760mm；

Φ120*L300mm（可定制，管内焊接三组搅拌挡板），非射频区管径：φ60mm；

翻转速度

0.1～6转/min（无极调速）；

翻转倾角

-3°～+3°  Z大倾倒角度30°

反应腔压力

5~80pa

法兰结构

航空铝快开模式；

操作系统

NBD-101EP集中总线控制集成系统，7"真彩触摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人机对话模式；

RF 电源

输出功率10～500W 任意连续可调，射频频率: 13.56MHz ±0.005% ，全自动匹配；

真空测试

数字真空计获取装置；

真空获取

NBD-4C机械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m³/h；

供气系统

质量流量控制器（量程及标定可定制）精度：±1%F.S；响应时间：1-4秒；

设备细节

部分界面

净重

约320KG

设备使用注意事项

1.射频匹配器一般处于自动匹配状态，一般功率需达到50W以上才能匹配；

2.若采用手动匹配，将功率设到60W左右，手动调谐匹配合适时，再增加功率

3.工作时，需改变腔体的气流量，先要要把功率设置为零，不能直接按“OFF”按键关闭射频输出。