高温TMDs 沉积一体机

炉体尺寸

1100mm×1250mm×750mm(宽×高×深）

刚玉管尺寸

Φ80*1000mm

主控升温速率

建议≤10℃/min

使用温度

1200℃以下可长期使用

控温精度

±1℃

1100℃

加热元件

高温合金丝

加热功率

5KW

主控炉膛材料

高纯多晶纤维复合耐火保温层

主控炉膛模式

开启式

密封方式

不锈钢密封法兰

测温元件

K型热电偶

加热温区长度

双温 210mm*2

操控模式

NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7英寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式；

温度曲线设置

主加热可预存15条温度曲线，每条曲线可设置30段"时间—温度曲线"，实时监控，动态真实显示“时间-温度曲线”

温度校正

主控控温温度和试样温度的差值，系统全程进行非线性修正（询问客户常用温度点，做效验）

真空泵类型

直联旋片式真空泵（双级旋片）

抽气速率

4(L/s)

进排气连接口

KF16/25（mm）

用油量

0.6～1L

电机转速

1440（rpm）

工作环境温度

5～40℃

噪音（dB）

≤56

真空计类型

数显真空计

系统真空

3~5pa （另选配分子泵可达6.3*10-3pa）

流量计类型

2路质量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根据客户需求选择流量范围

气路管芯

不锈钢气体管道（1/4"）

调节阀类型

手动调节阀

管道常态

常闭

测量精度

±1.0%F.S

精度保证温度

15～35℃

系统保护

超温报警，过流保护，断偶提示

电气规格

220V 50Hz 5KW

随机产品配置

石英炉管1根 ，炉塞1套 ，炉钩一只，说明书1份;随机工具等。

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；
2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；
4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；
5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。