NBD-T1500-200T66D6Z生产型一维材料制备CVD系统

产品型号

NBD-T1500-200T66D6Z

供电电源

三相380V 50HZ

控温精度

±1℃

额定功率

36KW

传感器类型

S型热电偶

温度

1500℃

长期工作Z高温度

1380℃

加热元件

高纯硅碳棒

温区尺寸

260*240*1430mm

炉管材质

反应烧结碳化硅

注射泵供给速度

5-10ml/小时

推荐升温速率

≤3℃/min（注意：超过Z大升温速率可能会导致炉管断裂）

炉管尺寸

内径φ180mm，壁厚10mm，长2150mm

炉体外形尺寸

长3700×深1000×高1420mm

上盖打开方式

电动开合 Z大角度45度

基于PLC控制单元的全触屏智能人机交互系统

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；

3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；

4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；

5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

物料收集系统：

1、通过不锈钢波纹管与碳化硅炉管相连，有效保护高温工作中的碳化硅炉管；
2、高纯石英观察窗，可随时观察物料收集状态；
3、手动阀和电磁阀双重保障，确保出气控制稳定运行；
4、收集腔室内部配置多孔收集板，可提高物料收集效率；
5、收集系统通过手轮调节与炉管的距离，并可通过旋转与炉体保持一定角度，方便物料的取出。

高精密注射泵：

  采用4.3英寸彩色触摸液晶屏，方便快速设置参数，多个指示灯清晰确认其工作状态，支持多种注射器型号选择，可适应不同实验流量需求，高精度控制，并设有软硬保护机制，支持注射、抽取等四种工作模式。
  内置RS485通讯，支持Modbus协议，宽范围电源输入，适应各种场合。单通道、双通道、多通道可供选择。

六路质量流量控制器（6MFC）混气系统

重量

约660KG