NBD-T1700-80TIG3Z化学气相沉积CVD一体机

产品型号

NBD-T1700-80TIG3Z

工作温度

≤1650℃

加热区尺寸

310mm

恒温区尺寸

升温速率

≤20℃/min

电气规格

AC 220V  4.5KW

控制系统

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；
2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；
4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；
5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

气体系统（可选购）

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

进气接口数量

2、3、4（多路可选）

流量范围

20-200/60-600l/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统（可选购）

真空泵型号

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm

宝塔接头

KF16/25

压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

分子泵高真空系统

（可选购）

分子泵系统型号

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC 220V

AC 220V

AC 380V