五温区 CVD系统

产品型号:CVD系统

负责人:周贝贝

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产品详情

配置详情:

	1.采用高纯石英或不锈钢材质炉管，耐腐蚀耐高温； 2.高纯度Al2O3纤维耐火保温材料，保温效果好，降低设备功耗； 3.炉体采用双层风冷结构工艺，自动抬升系统开启上盖； 4.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实时加热功率显示，非线性式样温度修正；实验报告自主生成，实验数据无限次导出。 5.一体化设备包含多路供气系统，多温区加热系统和高真空系统；
产品型号	五温区
炉管尺寸	Ø25/Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*1600mm
工作温度	≤1150℃
加热区选择 (可定制）	200mm5 300mm5
升温速率	≤20℃/min
电气规格	AC380V 10~15KW
气体系统（可选购）	浮子或质量流量计（MFC）
	管道示意图
	进气接口数量	2、3、4（多路可选）
	流量范围	20-250/20-800ml/min......(多量程可选) 50/100/200/500sccm......(多量程可选)
	工作压差范围	0-0.15MPa
低真空系统（可选购）	真空泵型号	NBD-3C/NBD-4C
	抽气速率	3L/s或4L/s
	进排气口尺寸	KF16/25
	系统真空	3~5Pa（真空泵真空6.2*10-2Pa）
	工作环境温度	5-40℃
	电气规格	AC220V
高真空系统（可选购）	真空泵型号	NBD-103(B)
	抽气速率	600L/s
	真空测量计	复合真空计
	系统真空	6*10^-4Pa
	工作温度	5-40℃
	电气规格	AC 380V