ST-102D型探针测试台

载物台直径

 4"

可选二种放大倍数

 *14-90倍连续变倍；
   *17.5-112.5倍连续变倍；

光学参数

 手轮调焦范围：60mm；升降调焦范围：200mm；

精密旋转台

 粗调范围：360°；微调范围：±10°；z小刻划：1°；
   铜盘直径：Φ85mm；绝缘盘直径：Φ102mm

三维探针座

 探针座X、Y、Z方向调节范围：±3.25mm，分辨率±2μ；
   三维探针座在工作台面可任意位置固定，由磁性开关控制；
   z多可布三维探针座6个；
   探针臂伸出长度：60mm；
   探针长度：40mm；

探针

 探针材质硬质合金，针尖曲率半径2μm；