DS300C质量流量控制器

DS300C

阀类型

常闭

流量规格(N2)

(0～30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10)            SLM

准确度

±1% S.P. (≥10% F.S.)       
±1% F.S. (＜10% F.S.)       

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 0.5sec            

进口压力

240～450KPa 流量规格≤5SLM
350～450KPa  流量规格＞5SLM

出口压力

≤1.2KPa    流量规格≤5SLM
≤13.3KPa  流量规格＞5SLM

温度系数

零点：≤±0.02% F.S./℃；
调节时：≤±0.1% F.S./℃

耐压

3 MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金属密封

z大工作压力

0.45MPa

工作环境温度

（10～45）℃

输入信号

数字：RS485 或 DeviceNet
模拟：(0～5)VDC

输出信号

数字：RS485 或 DeviceNet  
模拟：(0～5)VDC

零漂

在没有零点校正时＜0.6%F.S./年

电源

±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)

表面化学成分

Cr/Fe比例≥2.0；
CrO 厚度≥20 （埃）

表面粗糙度

Ra  5μinch

标准接头形式

VCR1/4阳接头；
1.125″C型密封接头；
1.125″W型密封接头；
Compression Fittingφ6

电源接头形式

D型9针阳接头；
D型15针阳接头；
DeviceNet接头

重量

1.2Kg