-135℃水汽捕集泵

-135℃水汽捕集泵

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产品详情

 -135水汽捕集泵,超低温捕集泵,深冷泵,快速循环水汽冷冻机POLYCOLD
   -135℃ Water vapor cryopump
 
应用原理:
    在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上+选择。
    深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

 

型号
TH-135-3P
TH-135-5P
TH-135-7P
TH-135-10P
TH-135-12P
TH-135-15P
压缩机功率(KW)
2.8
4.6
6.3
8.5
10.1
12.3
工作温度(℃)
-100-140
抽气速度(l/s)
30600
51000
73000
101000
153000
250000
制冷量(W)
300
500
1200
1800
2500
3500
冷凝管表面积(m2)
0.15
0.3
0.5
0.7
1.0
2. 0
冷凝管长度
8m,φ6mm
10m,φ10mm
12m,φ12mm
14m,φ16mm
24m,φ16mm
40m,φ16mm
预冷时间(min)
≤30
≤30
≤30
≤30
≤40
≤40
降温时间(min)
≤5
≤5
≤5
≤5
≤6
≤7
除霜时间(min)
≤3
≤3
≤3
≤3
≤3
≤3
再降温时间(min)
≤5
≤5
≤5
≤5
≤6
≤6
适用油扩散泵径(mm)
≤300
≤500
≤800
≤1000
双路输出
双路输出
冷却方式
风冷、水冷(t≤30℃)
水冷(t≤30℃)
水冷(t≤30℃)
水冷(t≤30℃)
水冷(t≤30℃)
适用腔体直径(mm)
≤900
≤1300
≤1500
≤1700
≤2000

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